PGI輪廓儀技術(shù)信息

技術(shù)亮點(diǎn)

PGI輪廓儀采用先進(jìn)的非接觸式白光干涉（White Light Interferometry, WLI）技術(shù)，結(jié)合高精度的Z軸掃描系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)的垂直分辨率。其核心優(yōu)勢(shì)在于：

高分辨率與高動(dòng)態(tài)范圍：PGI可在微米至毫米級(jí)的測(cè)量范圍內(nèi)，實(shí)現(xiàn)表面粗糙度、輪廓、平面度、波紋度等參數(shù)的精確分析，適用于從超光滑表面到復(fù)雜幾何結(jié)構(gòu)的廣泛樣品。

快速三維成像：通過高速掃描與圖像拼接技術(shù)，PGI可在短時(shí)間內(nèi)完成大面積三維表面形貌的重建，顯著提升測(cè)量效率。

多功能集成：支持多種測(cè)量模式，包括點(diǎn)測(cè)、線掃、區(qū)域掃描等，配合強(qiáng)大的分析軟件，可滿足ISO、ASME等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的評(píng)定需求。

應(yīng)用領(lǐng)域

PGI輪廓儀廣泛應(yīng)用于：

半導(dǎo)體制造：用于晶圓表面缺陷檢測(cè)、薄膜厚度測(cè)量及光刻膠輪廓分析。

光學(xué)元件檢測(cè)：對(duì)透鏡、反射鏡等光學(xué)表面的面形誤差進(jìn)行高精度評(píng)估。

生物醫(yī)學(xué)材料：研究植入物表面微結(jié)構(gòu)對(duì)細(xì)胞附著的影響。

科研與教育：為材料科學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域提供可靠的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)支持。